半導體行業(yè)
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更新時間 2020-10-13 08:57 閱讀
適用于半導體器件制造中的批量晶圓工藝。其獨特設計的工藝腔室及加熱系統(tǒng)為各種常壓工藝和低壓LPCVD工藝提供最大限度的靈活性，工藝溫度可高達1100°C。
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